功率器件分析仪/曲线追踪仪是目前市场上唯一能够对次微微安电平至 3000 V 和 20 A 的大功率

器件进行表征的综合解决方案。它能够使用宽带隙材料，例如碳化硅（SiC）或氮化镓（GaN），对

最新的功率器件进行测试。它拥有分别支持强电流（HCSMU）和高电压（HVSMU）的单独模块。

它还支持大功率 SMU（高达 1 A/200 V）和多频率电容测量单元（高达 5 MHz）。其 10 插槽

模块化结构使您能够完全按照您的方法配置。 

软件环境包括曲线追踪仪，支持您轻松地检查器件特征和探测器件故障。如同使用曲线追踪仪一样，

提供了旋钮来控制独立的扫描变量，以便对参数（例如击穿电压）进行直观的实时测试。的内置硬盘

可自动存储测量设置信息和数据，并传输到 USB 闪存及其他便携存储器。将分析结果汇总之后，它

还可以轻松地打印图形测量数据，并复制粘贴到报告中。 

适当的测试夹具解决方案对于确保安全（由于使用高电压和强电流）和支持各种功率器件封装类型极

为重要。曲线追踪仪先前受功率器件大小的限制，无法对某些器件进行测试，或者为了测试某一器件

必须临时装配适配器。然而，通过一个大型夹具适配器和定制的夹具模块，不论器件的大小或形状如

何，它的测试夹具可连接各种器件，例如 MOSFET、二极管和 IGBT。此外，测试夹具的内置互锁

机制可确保在测试器件过程中安全地应用高电压和强电流。

一般特性

基于 PC 的仪器，具有 Windows ® XP Professional 操作系统 

具有旋钮扫描功能的曲线追踪模式 

针对 HPSMU、HVSMU、HCSMU 和 MFCMU 模块的 10 个模块插槽 

通过 Desktop EasyEXPERT 软件进行离线数据分析和应用测试开发 

测量能力

大功率 SMU 的测量范围是 10 fA 至 1 A 与 2 µV 至 200 V 

强电流 SMU 的测量范围是 10 pA 至 20 A 与 200 nV 至 40 V 

高电压 SMU 可在 3000 V 时执行次微微安泄漏测量 

多频率（1 kHz 至 5 MHz）电容测量单元可在高达 3000 V 直流偏置时测量电容 

源能力

高电压 SMU 可在 8 mA 时提供 1500 V 的电压或在4 mA（脉冲或直流）时提供 3000 V 的电

压；脉冲宽度为 500 µs 至 2 s 

强电流 SMU 可在 20 V（脉冲）时提供 20 A 的电流，在 40 V（直流）时提供 1 A 的电流；脉

冲宽度为 50 µs 至 1 ms 

高电压 SMU 可在 8 mA 时提供 1500 V 的电压或在4 mA（脉冲或直流）时提供 3000 V 的电

压；脉冲宽度为 500 µs 至 2 s 

强电流 SMU 可在 20 V（脉冲）时提供 20 A 的电流，在 40 V（直流）时提供 1 A 的电流；脉

冲宽度为 50 µs 至 1 ms