学原理为基础，通过扫描探针与样品表面原子相互作用而成像的新型表面分析仪器。一般原子力显微

镜利用探针对样品扫描，探针固定在对探针与样品表面作用力极敏感的微悬臂上。悬臂受力偏折会引

起由激光源发出的激光束经悬臂反射后发生位移。检测器接受反射光，最后接受信号经过计算机系统

采集、处理、形成样品表面形貌图像。

计算机全数字化控制，操作简捷直观。

步进马达自动进行针尖－－样品逼近，保证实验圆满成功。

深度陡度测量，三维显示。

纳米材料粗糙度测量、颗粒径度测量及分布统计。

Ｘ、Ｙ二维样品移动平台，快速搜索样品区域．

标准RS232串行接口,无需任何计算机卡

样品观测范围从0.001um-20000um。

扫描速度达40000点/秒

可选配纳米刻蚀功能模块。

SPM探头

样品尺寸：直径小等于30mm；厚度小等于15mm。

XY最大扫描范围：标准6X6微米

XY向分辨率：0.4nm(轻敲模式)；0.3nm（AFM模式）；0.1nm(STM模式)

Ｚ向分辨率：0.05nm(轻敲模式)；0.03nm（AFM模式）；001nm(STM模式)

XY二维样品移动范围：５mm；精度0.5微米

步进马达自动进行针尖-样品逼近

44-283X连续变倍彩色CCD显微观察系统(选配)

电化学针尖块，液电池，液体轻敲式成像功能（选配）

全金属屏蔽防震隔音箱/精密隔震平台（选购）

电子学控制器:
XYZ控制	18-Bit D/A
数据采样	14-BitA/D、16 Bit A/D多路同步采样
Z向反馈	DSP数字反馈
反馈采样速率	64.0KHz
高压放大器	集成高压运算放大器，最大电压范围+/-150V
频率范围	20K-1000KHz
幅度范围	0-10.0V
扫描速率	>40000点/秒
扫描角度	0-360度连续可调
扫描偏移	任意
图像采样点	256X256或512X512
步进马达控制	手动和自动进退
计算机接口	标准RS232串行/USB