X射线荧光镀层测厚仪，有着非破坏，非接触，多层合金测量，高生产力，高再现性等优点，在质量

管理到不良品分析有着广泛的应用。用于电子元器件，半导体，PCB，汽车零部件，功能性电镀，

装饰件，连接器等多个行业。主要特点样品种类：镀层、涂层、薄膜、液体(镀液中的元素含量) 可

检测元素范围：Ti22 – U92 可同时测定5层/15种元素 精度高、稳定性好 强大的数据统计、处理

功能 测量范围宽 NIST认证的标准片 全球服务及支持 

主要规格 规格描述 

X射线激发系统 垂直上照式X射线光学系统 

空冷式微聚焦型X射线管，Be窗 

标准靶材：Rh靶；任选靶材：W、Mo、Ag等 

功率：50W(4-50kV，0-1.0mA)－标准 

75W(4-50kV，0-1.5mA)－任选 

装备有安全防射线光闸 

二次X射线滤光片：3个位置程控交换，多种材质、多种厚度的二次滤光片任选 

准直器程控交换系统 最多可同时装配6种规格的准直器 

多种规格尺寸准直器任选： 

－圆形，如4、6、8、12、20 mil等 

－矩形，如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16等 

测量斑点尺寸 在12.7mm聚焦距离时，最小测量斑点尺寸为：0.078 x 0.055 mm(使用

0.025 x 0.05 mm准直器) 

在12.7mm聚焦距离时，最大测量斑点尺寸为：0.38 x 0.42 mm(使用0.3mm准直器) 

样品室 CMI900 CMI950 

－样品室结构 开槽式样品室 开闭式样品室 

－最大样品台尺寸 610mm x 610mm 300mm x 300mm 

－XY轴程控移动范围 标准：152.4 x 177.8mm 

还有5种规格任选 300mm x 300mm 

－Z轴程控移动高度 43.18mm XYZ程控时，152.4mm 

XY轴手动时，269.2mm 

－XYZ三轴控制方式 多种控制方式任选：XYZ三轴程序控制、XY轴手动控制和Z轴程序控制、XYZ三

轴手动控制 

－样品观察系统 高分辨彩色CCD观察系统，标准放大倍数为30倍。50倍和100倍观察系统任选。 

激光自动对焦功能 

可变焦距控制功能和固定焦距控制功能 

计算机系统配置 IBM计算机 

惠普或爱普生彩色喷墨打印机 

分析应用软件 操作系统：Windows2000中文平台 

分析软件包：SmartLink FP软件包 

－测厚范围 可测定厚度范围：取决于您的具体应用。 

－基本分析功能 采用基本参数法校正。牛津仪器将根据您的应用提供必要的校正用标准样品。 

样品种类：镀层、涂层、薄膜、液体(镀液中的元素含量) 

可检测元素范围：Ti22 – U92 

可同时测定5层/15种元素/共存元素校正 

贵金属检测，如Au karat评价 

材料和合金元素分析， 

材料鉴别和分类检测 

液体样品分析，如镀液中的金属元素含量 

多达4个样品的光谱同时显示和比较 

元素光谱定性分析 

－调整和校正功能 系统自动调整和校正功能，自动消除系统漂移 

－测量自动化功能 鼠标激活测量模式：“Point 和 Shoot” 

多点自动测量模式：随机模式、线性模式、梯度模式、扫描模式、和重复测量模式 

测量位置预览功能 

激光对焦和自动对焦功能 

－样品台程控功能 设定测量点 

连续多点测量 

测量位置预览(图表显示) 

－统计计算功能 平均值、标准偏差、相对标准偏差、最大值、最小值、数据变动范围、数据编号、

CP、CPK、控制上限图、控制下限图 

数据分组、X-bar/R图表、直方图 

数据库存储功能 

任选软件：统计报告编辑器允许用户自定义多媒体报告书 

－系统安全监测功能 Z轴保护传感器 

样品室门开闭传感器