半导体器件分析仪是一款具有 10 插槽配置的模块化仪器，可支持 IV 和 CV 测量及快速高电压脉

冲测量。它采用常见的 Microsoft ® Windows ® 用户界面，可支持 Agilent EasyEXPERT 软

件。该软件为器件表征提供更直观的、面向任务的新方法。Agilent B1500A 具有极佳的低电流、

低电压和集成电容测量能力，因此可满足广泛的半导体器件表征需求（IC-CAP 支持）。它还是一

款用于非易失存储单元表征和高速器件表征（包括先进 NBTI 和 RTS 噪声（RTN）测量）的出色

解决方案。  

应用主题  

现已提供有关太阳能电池表征的新应用指南和示例程序。 

模块信息  

它支持 3 类 SMU 和 ASU，以执行超精密测量。有关 SMU 的更多信息，请参见本页的模块选型

指南。  

它（HV-SPGU：高电压――半导体脉冲发生器单元）模块可提高闪存测试的吞吐量。  

（WGFMU：波形发生器和快速测量单元）模块可帮助您执行以前无法进行的关键脉冲测量。 

提供各种脉冲解决方案。最新的安捷伦选型指南可帮助您选择最适合您应用的解决方案。更多信

息，请访问 安捷伦脉冲 IV 参数测试解决方案页面。 EasyEXPERT 和 Desktop EasyEXPERT 

不但可以帮助您提高测量效率，而且还可提供易于使用的测试环境。更多信息，请访问 

EasyEXPERT 页面。  

安捷伦低泄漏开关矩阵系列能够灵活地生成自动化测量解决方案，而不会影响测量性能。更多信

息，请访问 开关矩阵系列页面。  

特性和优势  

优异的 IV 测量性能：0.1 fA / 0.5 µV 测量分辨率 

- 测量特性包括单通道和多通道扫描、时间采样、列表扫描、准静态 CV（使用 SMU）、直接控制

和针对 HV-SPGU 的任意线性波形生成（ALWG）GUI。  

可选的集成电容模块支持高达 5 MHz 的 CV 测量  

基于定位器的可选 CV-IV 开关解决方案提供 0.5 µV 的电压测量分辨率和 10 fA、1 fA 或 0.1 

fA 的电流测量分辨率能力  

使用内置半自动晶圆探头驱动程序可轻松自动完成测试；在快速测试模式下，用户无需编程即可排

列测试顺序  

可选的高电压半导体脉冲发生器单元（HV-SPGU）具有 10 ns 的可编程脉冲宽度和 +/- 40 V

（80 V 峰峰值）输出  

可选的波形发生器/快速测量单元（WGFMU）提供 ALWG 和快速电流或电压测量能力  

10 ns 脉冲 IV 解决方案，用于表征高 k 栅极电介质和 SOI（绝缘硅）晶体管  

典型测试模式可提供 4155/4156 界面的外观、风格和术语，同时通过充分利用 Microsoft ® 

Windows ® GUI 特性可加强用户交互 

一般特性

基于 PC 的仪器，具有 Windows ® XP Professional 操作系统 

针对电流－电压（IV）、电容－电压（CV）、脉冲生成、快速 IV和时域测量的综合解决方案。 

用于电源监测单元（SMU）和其他模块类型（MFCMU、HV-SPGU 和 WGFMU）的 10 个模块插

槽 

通过 Desktop EasyEXPERT 软件进行离线数据分析和应用测试开发 

测量能力

支持 0.1fA 和 0.5µV 电流－电压（IV）测量 

支持准静态和中频电容－电压（CV）测量 

支持精确的快速 IV 和时域测量，适用于各种应用，例如脉冲 IV、NBTI 和 RTS 噪声（RTN）测
量。 

支持用于大功率和存储器测试的高电压脉冲生成（高达 ±40 V）功能。